化工程是通過控制空氣微粒濃度、溫濕度、壓力等參數(shù)來創(chuàng)造潔凈環(huán)境的技術(shù)體系。其核心技術(shù)包括三級過濾系統(tǒng)（初效、中效、HEPA/ULPA）、氣流組織設(shè)計（單向流/非單向流）以及壓差控制。現(xiàn)代凈化車間普遍采用FFU（風(fēng)機過濾單元）模塊化結(jié)構(gòu)，配合PLC自動控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)下的5級（百級）至8級（十萬級）潔凈度。值得注意的是，分子級污染的防控技術(shù)如化學(xué)過濾器、VOCs處理裝置正成為半導(dǎo)體行業(yè)的新需求。
